大尺寸光罩
材料:Soda Lime Glass、Quartz
規(guī)格:1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
應(yīng)用:PCB行業(yè)、平板顯示行業(yè)
詳情介紹
精度 / 級別
Items / Class
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最高精度
Grade 1
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高精度
Grade 2
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中精度
Grade 3
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一般精度
Grade 4
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最小線寬/線縫
Min.Line/Space Width
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1.0μm/1.0μm | 5μm/5μm | 10μm/10μm |
20μm/20μm
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線條精度
CD Control
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±0.15μm (QZ) |
±0.5μm
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±1.0μm
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±2.0μm
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總長精度
Total Pitch Accuracy
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±0.5μm(QZ)
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±1.0μm
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±2.0μm
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±2.0μm
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圖形位置精度
Registration Accuracy
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±0.5μm(QZ)
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±1.0μm
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±2.0μm
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±3.0μm
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套合精度
Overlay Accuracy
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±0.5μm(QZ)
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±1.0μm
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±2.0μm
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±3.0μm
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垂直精度
Orthogonality
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±0.75μrad
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±2.0μrad
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±3.0μrad
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±4.0μrad
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?材料 Material | Soda Lime Glass、Quartz |
?最大尺寸Max. Size | 1100mm×1100mm |
?常規(guī)尺寸Normal Size |
406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
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?厚度 Thickness |
?
2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ) |
?鉻膜 Film Type | Low Reflectance Chrome |
?光學(xué)密度Optical Density(λ=450nm) | Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3 |
?反射率Reflectivity(λ=436nm) | Between Plates10±5% In Plate±2% |